°æ±âµµ ȼº »ï¼º¹°»ê °Ç¼³ ÇöÀå¿¡¼ Ã߶ô»ç°í°¡ ¹ß»ýÇØ ÀÛ¾÷ÀÚ 1¸íÀÌ »ç¸ÁÇß´Ù.
3ÀÏ »ï¼º¹°»ê°ú °æÂû µî¿¡ µû¸£¸é À̳¯ ¿ÀÀü 10½Ã 20ºÐ²² ȼº½Ã ¼ÒÀç ÷´Ü ±ØÀڿܼ±(EUV¡¤ExtremeUltraViolet) ±â¼úÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼¸¦ »ý»êÇÏ´Â ¶óÀÎ °Ç¼³ ÇöÀå¿¡¼ »ï¼º¹°»ê Çù·Â»çÀÎ ÇÑ ¼Ò¹æÀü±â¾÷ü ¼Ò¼Ó Á÷¿ø A(38)¾¾°¡ °Ç¹° 2Ãþ, 2.5£í ³ôÀÌ¿¡¼ ÀÛ¾÷ µµÁß Ã߶ôÇß´Ù.
A¾¾´Â ½ÉÆó¼Ò»ý¼úÀ» ¹Þ°í º´¿øÀ¸·Î ¿Å°ÜÁ³Áö¸¸ »ç¸ÁÇß´Ù. ÇöÀå¿¡ ÀÖ´ø ÇÑ ÀÛ¾÷ÀÚ´Â "ÀÛ¾÷À» ÇÏ´Ù°¡ Àü±â¿¡ °¨ÀüµÅ Ã߶ôÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë°í ÀÖ´Ù"°í ¸»Çß´Ù. °æÂûÀº ÀÚ¼¼ÇÑ »ç°í °æÀ§¸¦ Á¶»çÇÏ°í ÀÖ´Ù.
3ÀÏ »ï¼º¹°»ê°ú °æÂû µî¿¡ µû¸£¸é À̳¯ ¿ÀÀü 10½Ã 20ºÐ²² ȼº½Ã ¼ÒÀç ÷´Ü ±ØÀڿܼ±(EUV¡¤ExtremeUltraViolet) ±â¼úÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼¸¦ »ý»êÇÏ´Â ¶óÀÎ °Ç¼³ ÇöÀå¿¡¼ »ï¼º¹°»ê Çù·Â»çÀÎ ÇÑ ¼Ò¹æÀü±â¾÷ü ¼Ò¼Ó Á÷¿ø A(38)¾¾°¡ °Ç¹° 2Ãþ, 2.5£í ³ôÀÌ¿¡¼ ÀÛ¾÷ µµÁß Ã߶ôÇß´Ù.
A¾¾´Â ½ÉÆó¼Ò»ý¼úÀ» ¹Þ°í º´¿øÀ¸·Î ¿Å°ÜÁ³Áö¸¸ »ç¸ÁÇß´Ù. ÇöÀå¿¡ ÀÖ´ø ÇÑ ÀÛ¾÷ÀÚ´Â "ÀÛ¾÷À» ÇÏ´Ù°¡ Àü±â¿¡ °¨ÀüµÅ Ã߶ôÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë°í ÀÖ´Ù"°í ¸»Çß´Ù. °æÂûÀº ÀÚ¼¼ÇÑ »ç°í °æÀ§¸¦ Á¶»çÇÏ°í ÀÖ´Ù.
±Çº´Âù kbc77@hanmail.net